衬底支撑组件的意思
拼音:chèn dǐ zhī chēng zǔ jiàn 解释:衬底支撑组件在处理室中支撑衬底。所述的衬底支撑组件具有:支撑块,所述支撑块具有电极;以及臂,用于在所述处理室中支持所述的支撑块,所述的臂具有贯穿其中的通道。所述的臂具有固定到所述支撑块的第一夹板以及固定到所述处理室的第二夹板。多个电导体穿过所述臂的所述通道,而陶瓷绝缘体处在所述的导体之间。
繁体字转换器为您提供衬底支撑组件繁体,衬底支撑组件的繁体,衬底支撑组件简体繁体转换,衬底支撑组件的繁体字如何写,衬底支撑组件的繁体字,衬底支撑组件的繁体字转换对照,衬底支撑组件的简繁体互转,衬底支撑组件的繁体字怎么写,衬底支撑组件繁体字,衬底支撑组件的简繁体字怎么写,怎么写衬底支撑组件的繁体字,衬底支撑组件的繁体怎么写等衬底支撑组件繁体字在线查询。